擴散焊接時，必須保證連接面及連接的金屬不受空氣影響，必須在真空或惰性氣體介質中進行。最常用的方法是真空擴散焊接。真空擴散焊接包括高頻、輻射、接觸電阻、可以通過電子束及輝光放電等方法對工件進行局部或整體加熱；工業(yè)生產中應用的擴散焊接設備主要采用感應和輻射加熱的方法。

擴散焊接設備由真空室、真空系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、加壓系統(tǒng)、溫度和真空度的檢測及控制裝置等組成。任何加熱方式的擴散焊接設備主要由以下幾個部分組成：

①真空室及真空系統(tǒng)

真空室越大，要想達到和維持一定的真空度，對所需真空系統(tǒng)的要求就越高。真空室必須有由耐高溫材料包圍的均勻加熱區(qū)域，才能穩(wěn)定地維持設定的溫度。真空室外殼需要冷卻。真空系統(tǒng)一般是擴散泵和機械泵。由。機械泵只能達到1.33。×10-3Pa的真空度，添加擴散泵可達到1.33×10-4～1.33×10-6Pa的真空度可以滿足材料擴散焊接的要求。真空度越高，越有利于被焊材料表面雜質和氧化物的分解和蒸發(fā)，促進界面擴散順利進行。但真空度越高，抽真空時間越長。根據(jù)真空度，低真空（<1.33 10-2Pa）、可分為中真空（1.33 10-3~1.33）×10-4 Pa），高真空（>1.33 10-5 Pa）。

②加熱系統(tǒng)

一般由感應線圈和高頻電源組成。根據(jù)不同的加熱要求，輻射加熱可以選擇鎢、鉬或石墨作為加熱體，經過高溫輻射對工件進行加熱。根據(jù)加熱方式分為感應加熱、輻射加熱、接觸加熱等。

③加壓體系

真空擴散焊接過程一般要施加一定的壓力。由于高溫下材料的屈服強度較低，為了避免構件的整體變形，加壓只會在接觸面產生微觀的局部塑性變形。擴散焊接施加的壓力較小，壓力強度可以在1~100MPa范圍內變化，只有在材料的高溫塑性變形抗力較大、加工表面較粗糙或擴散焊接溫度較低時，才會使用較高的壓力，目前主要采用液壓和機械加壓系統(tǒng)。

④測量和控制系統(tǒng)

目前應用的真空擴散焊接機都配備了溫度、壓力、真空度和時間的控制系統(tǒng)。溫度可以在20~2300℃進行測量和控制，溫度控制的精度為±（5~10）℃。壓力的測量和控制一般通過壓力傳感器進行。

⑤水冷系統(tǒng)

一般通過水循環(huán)系統(tǒng)冷卻。擴散焊接設備在啟動前要連接水冷循環(huán)。擴散焊接設備種類繁多。